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테스, 플라즈마 처리장치 특허권 취득

NSP통신, 성민욱 기자, 2014-06-11 12:20 KRD2
#테스(095610) #플라즈마 #특허권 #탄소막 #반도체

(서울=NSP통신 성민욱 기자) = 테스(095610)는 11일, 플라즈마 처리장치에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다.

회사 측은"상기 플라즈마 처리장치를 이용하여 비정질 탄소막(ACL)을 형성하는 경우 비정질 탄소막의 밀도 또는 강도가 증가하며 내식각성이 향상시킬 수 있어 운용 효율성이 증대된다"며"플라즈마 처리장치의 성능을 향상시켜 생산성을 높일 수 있다"고 설명했다.

me0307@nspna.com, 성민욱 기자(NSP통신)
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