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(서울=NSP통신 이수정 기자) = 테스(095610)는 박막증착장치 관련 특허권을 취득했다고 밝혔다.

회사측은 7일 공시를 통해"기판 처리량(throughput)을 현저하게 향상시킬 수 있으며, 기판 표면에 증착이 균일하게 이루어지도록 하여 우수한 품질의 박막을 제공할 수 있다."고 설명했다.

endorphin@nspna.com, 이수정 기자(NSP통신)
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