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[서울=NSP통신] 이상철 기자 = 테스는 기판처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 9일 공시했다.

회사측은 “이번 특허는 한번에 한쌍의 기판을 처리할 수 있으므로 생산성이 향상될 뿐 아니라, 한쌍의 기판으로 가스가 균일하게 공급되므로 균일한 품질로 처리할 수 있다고 밝혔다.

이상철 NSP통신 기자, lee21@nspna.com
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