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(서울=NSP통신 성민욱 기자) = 원익아이피에스(030530)는 5일 진공처리시스템, 진공처리시스템에 사용되는 버퍼 모듈 및 진공처리 시스템의 트레이 이송 방법에 대한 특허권을 취득했다고 시했다.

me0307@nspna.com, 성민욱 기자(NSP통신)
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