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(서울=NSP통신 이수정 기자) = 참엔지니어링(009310)은 기판처리장치 관련 특허권을 취득했다고 밝혔다.

회사측은 7일 공시를 통해 “기판이송부 및 이를 구비하는 기판처리장치에 관한 것으로 복수의 기판을 동시에 처리할 수 있는 배치타입의 기판 처리 장치에 관한 특허”라고 설명했다.

endorphin@nspna.com, 이수정 기자(NSP통신)
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