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(서울=NSP통신) 민효진 기자 = 테스(095610)는 실리콘나이트라이드막의 건식식각 방법에 대한 특허를 취득했다고 25일 공시했다.

테스는 “이 특허와 관련된 기술을 반도체 장비에 적용하고 R&D활동에도 응용하여 제품경쟁력 강화에 활용할 계획이라고” 밝혔다.

NSP통신/NSP TV 민효진 기자, mhj0211@nspna.com
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