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(서울=NSP통신) 박천숙 기자 = 테스(095610)는 박막증착장치에 대한 특허권을 취득했다고 6일 공시했다.
이번 특허 관련해 테스는"디스플레이(OLED) 장비에 적용되는 기술이다"며"기판에 박막을 형성하기 위한 각종 공정가스의 복잡한 제어 및 구성을 필요로 하지 않게 돼 기존에 비해 단순한 구성으로 박막을 증착할 수 있다"고 밝혔다.
NSP통신/NSP TV 박천숙 기자, icheonsuk@nspna.com
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