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(Image = SKハイニックス)

(Seoul=NSP NEWS AGENCY) = SKハイニックスが韓国内半導体用特殊ガス企業TEMCと協業し、半導体業界で初めてネオン(Ne)ガスリサイクル技術を開発したと明らかにした。

最近、国際情勢の不安により輸入に依存してきたネオンの需給不確実性が大きくなり、会社は韓国内の素材・部品・装備企業と共にリサイクル技術の開発に乗り出し、1年余りで成果を成し遂げた。

SKハイニックスとTEMCは、露光工程後にスクラバーを通じて空気中に排出されていたネオンガスを収集タンクに捕集し、TEMCのガス処理過程を通じてネオンだけを選択的に分離して精製した。
精製されたネオンは再びSKハイニックスに供給され、半導体製造工程に使われる。現在、ネオンの回収率は72.7%に上る。SKハイニックスは今後、持続的に精製収率を改善し、ネオン回収率を77%まで高める計画だ。

ネオンリサイクル技術が半導体ファブに適用される場合、年間400億ウォン相当のネオン購買費用が減るものと予想される。また、この技術はネオン生産過程での温室効果ガス排出量(Scope3)を1万2000tCO2e/yrほど減らす効果も創出するものと見られる。

By Min-jung Kim(alswjd5176@nspna.com) and Bok-hyun Lee(bhlee2016@nspna.com)

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