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(서울=NSP통신) 김하연 기자 = 엘오티베큠(083310)의 주력장비인 건식진공펌프는 반도체 제조과정에서 발생하는 부산물 제거에 활용된다.

제품의 수율과 직결되는 핵심 설비다.

초고진공 환경이 필요한 공정인 식각과 증착 공정에서의 활용도가 높다.

진공펌프는 범용성 장비로 메모리 뿐 아니라 비메모리와 디스플레이향으로도 납품되고 있다.

나성준 신한금융투자 애널리스트는 “반도체 기술의 변화로 증착과 식각 공정 Step수가 증가할 경우, 진공펌프 판매대 수 증가가 기대된다”고 밝혔다.

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NSP통신 김하연 기자 haaykim@nspna.com
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